废气处理设备应用范围：
设备特性及优势：
★ 高效率(High efficiency)：出口废气浓度保证达标。通过在线有毒气体侦测器或 FTIR(霍式红外线)验证性能。
★ 火灾风险低(Low risk on fire hazard)：以化学吸收(酸硷中和)替代活性碳之物理吸附(凡德瓦力),火灾的风险低。
★ 维护成本低：
设备吸附原理(舉例)
氢化物气体化学吸附原理：
★ 化学吸附反应方程式：
AsH3 + MxOn → MxAsy + nH2O
PH3 + MxOn → MxPy + Nh2o
...
★ 砷化氢(AsH3)及磷化氢(PH3)被金属吸附剂(氧化触媒)吸附氧 化后, 形成砷及磷金属错合物(Complex Compound)。
酸性气体化学吸附原理：
★ 化学吸附反应方程式：
BF3 + MxOH → Mx(B2O3)+ MxF
★ 三氟化硼(BF3)被金属吸附剂(氧化触媒)吸附氧化后，形成硼金属错合物(Complex compound)及氟金属氧化物(Metal oxide)。
干式吸附设备实例：
对人体健康有害的空气污染物环境被称为危险空气污染物(HAP)。HAP 通常来自工艺所产生的废气污染物质，其中特殊气体仅有部分被使用(制程反应), 废气排放包含未反应的特殊气体及其副产物(by-product)。公司研发的新的催化型干式吸附(局部)处理设备(local scrubber system)，非常适合破坏工业 HAPs (hazardous air pollutants)。
应用领域：
★ 半导体(Semiconductor)、平面显示器(LCD)、二极体(LED)及石油化学制程等废气处理。
★ 氢化物气体：AsH3、PH3及B2H6等废气处理。
★ 酸性气体：BF3、FH、WF6、SiF4等废气处理。
★ 氮化物气体：NH3、TDMAT、N2O、NOx等废气处理。
★ 有机类气体：SiH4、DCS、TCS、DEZ等废气处理。
★ 硫化物气体: H2S、H2Se、SO2等