传统蒸汽加湿、高压微雾加湿功能单一，仅能调节湿度，无法处理新风带入的外部污染物。而水洗加湿器依托喷淋水幕与新风充分接触，实现多重工况处理：
精准等焓加湿室外新风穿过多级喷淋水幕，通过水蒸发实现等温加湿，稳定维持洁净车间 45%~55% RH 工艺湿度区间，消除静电风险，避免光刻、薄膜、蚀刻工序因湿度波动引发晶圆缺陷。
新风水洗，拦截污染物有效捕捉新风内粉尘颗粒物；溶解吸收氨气、硫化物、酸性气体等水溶性 AMC 分子污染物，前置减轻后端化学过滤器负荷，大幅降低长周期运维耗材成本，非常适合合肥工业区外部空气复杂的环境条件。
新风预冷节能夏季高温新风经过水洗喷淋实现蒸发降温，降低后续冷盘管负荷，帮助晶圆厂 MAU 系统实现显著节能，减少冷水机组能耗。
适配 7×24 小时不间断生产水洗加湿器采用 316L 不锈钢喷淋段、防堵中空喷嘴、多级挡水板、循环水箱电导率在线监测系统，配套自动排污、水质管控，适配长鑫存储全年连续生产工况，杜绝水雾夹带、水滴带入洁净室风险。
在合肥长鑫存储新建及扩建产线暖通方案中，MAU 内置水洗加湿器已经成为主流配置。相比单独增设化学过滤器，水洗加湿一体化方案兼具功能性与经济性，成为国内 12 英寸存储晶圆厂新风系统国产化优选方案。