针对 DRAM 晶圆制造等高等级洁净厂房，水洗加湿器（空气洗涤段）需要满足严苛工业设计标准，对标合肥长鑫项目技术要求，核心设计规范如下：
主体材质喷淋段、水箱、挡水板、喷淋管路全部采用 316L 不锈钢，耐轻微腐蚀，防止锈蚀产生金属颗粒物污染空气；
喷淋系统采用防堵式中空喷嘴，双层 / 三层喷淋排布，保障气水充分接触；合理控制水气比，保证饱和加湿效率；
多级挡水装置高效折流挡水板，严格控制送风夹带水滴，杜绝液态水进入后续过滤段与洁净室；
水质智能管控水箱配备电导率传感器，水质超标自动排污、自动补水，持续控制循环水杂质浓度；
自控系统对接支持与厂务 BMS、MAU 控制系统通讯，联动温湿度、压差数据，实现全自动运行、故障报警；
检修维护结构预留检修门、排污口、清洗接口，方便周期性维护，适配工厂连续生产，减少停机时间。
水洗加湿器作为晶圆厂新风第一道环境处理屏障，设备制造、安装、调试精度直接影响全年洁净室良率。麦克艾盟可提供适配半导体 MAU 机组的定制化水洗加湿段整体方案，可满足存储晶圆、逻辑芯片、封测厂房不同等级洁净项目需求，支持对标头部晶圆厂项目技术标准落地。